纳米级长度、角度传感器
世界著名的基础测量元件(长度、角度传感器)生产厂商——德国Heidenhain公司推出了新型长度传感器和角度传感器，由于采用了新材料及先进工艺，使传感器的精度进一步提高：在长度传感器中，用于测量装置的开放式光栅以Zerodur玻璃陶瓷为基体，采用Diadur相位光栅，在70～270mm测量范围内，其精度可达±0.5μm或更高，分辨率达0.001μm；而用于块规测量的Heidenhain Certo长度传感器精度可高达±0.03μm，分辨率达0.005μm；在角度传感器中，超高精度的Ron905与Awe1024求值电路联用时，其精度可达±0.2″，分辨率为0.036″。
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