高脉冲能量准分子激光器
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技术综合
相干公司LPXpro系列的高脉冲能量准分子激光器不仅在性能方面有大幅提高，使用成本也进一步降低。值得一提的是，LPXpro可1次充气就输出1亿个脉冲，这意味着充1次气，可保证约1周的工作时间。在保持卓越的激光质量和稳定性的前提下，采用LPXpro系列，激光腔寿命超过20亿个脉冲，即在典型的用户激光强度上工作可超过5年。LPXpro系列的短期和长期性能明显增强，这是相干公司引领准分子激光工程发展的结果，其目的是满足不断增长的微加工和激光剥离生产的要求。
LPXpro系列准分子激光器结构紧凑，价格适中，占空比高，专为三班倒生产线而设计，脉冲重复频率高达200Hz，脉冲能量达1100mJ。LPXpro在采用标准紫外光加工波长193nm、248nm和308nm时工作最佳。以陶瓷预电离专利技术为特色，LPXpro提供杰出的脉冲-脉冲稳定性，典型值为0.5%rms，这比之前的型号提高了一个数量级。平均输出功率高达80W，适合于在微加工和准分子激光剥离应用中进行大规模生产或大视场加工。一个经工业界检验的谐振腔设计采用全部可清洗谐振腔光学元件，也就是说这些光学元件可从激光腔中取出和清洗，从而保证最佳的光束方向稳定性，获得最佳的图案再现性和高的产出。同时，LPXpro很容易集成在光束输出和投影系统中。
在精密微加工、光纤光栅刻写、脉冲激光沉积、光学材料测试、晶片退火和基于GaN生长基片的激光剥离等精密应用中，LPXpro激光器是理想选择。
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